目前準分子激光已廣泛應用在臨床醫(yī)學以及科學研究與工業(yè)應用方面,如:鉆孔、標記表面處理、激光化學氣相沉積、物理氣相沉積、磁頭與光學鏡片、硅晶圓的清潔、微機電系統(tǒng)相關的微制造技術等等。
準分子激光于90年代始在醫(yī)學上得到運用,主要有:
眼科:使用193nm準分子激光進行LASIK手術,矯治屈光不正(近視、遠視、散光)。
皮膚:使用308nm準分子激光治1療白1癜風、銀屑1病和過敏性皮炎。
心血管:準分子激光在心血管疾病中主要用于治1療冠心1病、周圍血管疾病、心臟瓣膜病、先天性1心臟病和肥厚性心肌病等。
準分子激光由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體,供應準分子預混氣公司,產生的準分子激光波長為172nm。
1975年包括美國政府的海1軍研究實驗室、諾思羅普研究和技術中心,準分子預混氣多少錢,Avco Everett研究實驗室,包頭準分子預混氣,和美國桑迪亞國家實驗室在內的多家政府研究機構研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。
1979年西德Lambda Physik公司生產出第1臺商業(yè)用準分子激光器。
迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產生準分子激光的氣體有10多種。
使用準分子激光技術所進行的工業(yè)加工任務各不相同,這就促使了準分子激光氣體在準分子激光技術產品具有更廣的輸出特性。本質上,所有的應用都要求具有高可靠性,準分子預混氣供應,激光壽命更長,運轉成本更低。在三方面主要應用的促進下,激光器制造商已經(jīng)取得了大量重要的技術進步。新一代的準分子激光器維護間隔時間更長,自動調節(jié)能力更先進,所需支的擁有成本也更低。
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